因半導(dǎo)體機(jī)臺(tái)設(shè)備內(nèi)常使用化學(xué)藥劑，機(jī)臺(tái)設(shè)備所生產(chǎn)之產(chǎn)品又必須要可以轉(zhuǎn)送下一站別，故有了機(jī)械手臂這項(xiàng)產(chǎn)品。為了避免機(jī)臺(tái)內(nèi)的化學(xué)藥劑對(duì)機(jī)械手臂產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)，許多廠(chǎng)商已經(jīng)開(kāi)始改用陶瓷所生產(chǎn)的機(jī)械手臂。
會(huì)用在反應(yīng)器系統(tǒng)內(nèi)，且電漿或是化學(xué)氣體有時(shí)會(huì)在此停留，故在鐘罩的材質(zhì)使用上需特別注意耐酸堿耐腐蝕，因此目前有許多半導(dǎo)體設(shè)備上所使用之鐘罩采用陶瓷材質(zhì)，鐘罩之外表也可以配合另外覆蓋其他金屬材質(zhì)。或本司金屬鐘罩可做陶瓷表面處理。
壓緊環(huán)
用于光電業(yè)前段制程機(jī)臺(tái)設(shè)備中，長(zhǎng)期會(huì)接觸化學(xué)藥劑，陶瓷材質(zhì)可避免長(zhǎng)期接觸化學(xué)藥劑產(chǎn)生腐蝕的現(xiàn)象。
陶瓷長(zhǎng)板/邊條/檔板/蓋板
多用于LCD蝕刻機(jī)臺(tái)設(shè)備，機(jī)臺(tái)需長(zhǎng)期與化學(xué)藥劑接觸，中間孔洞部分是需鎖螺絲，所以它的材質(zhì)多數(shù)必須考量可耐酸堿，抗腐蝕，故目前大多數(shù)都采用陶瓷材質(zhì)。因應(yīng)機(jī)臺(tái)的需求會(huì)產(chǎn)生很多不一樣型式，故我們樣式的陶瓷陶瓷長(zhǎng)板/邊條/檔板/蓋板。提供客戶(hù)客制化的服務(wù)，可配合生產(chǎn)各式陶瓷或金屬長(zhǎng)板陶瓷表面處理。
陶瓷絕緣體/防護(hù)蓋
會(huì)用于LCD蝕刻機(jī)臺(tái)設(shè)備，機(jī)臺(tái)需長(zhǎng)期與化學(xué)藥劑接觸，因配合機(jī)臺(tái)制程別大小不同，如尺寸較小可做成一體成形，如此寸較大則會(huì)制作分段制作截取部分分段圖片如左圖。
天板
用于LCD蝕刻機(jī)臺(tái)設(shè)備，機(jī)臺(tái)需長(zhǎng)期與化學(xué)藥劑接觸，天板的大小會(huì)因?yàn)樵O(shè)備的不同而有所不同，這邊可以配合客戶(hù)需求進(jìn)行各種尺寸規(guī)格的生產(chǎn)。
其他應(yīng)用
售前
