因半導體機臺設備內常使用化學藥劑,機臺設備所生產之產品又必須要可以轉送下一站別,故有了機械手臂這項產品。為了避免機臺內的化學藥劑對機械手臂產生化學反應,許多廠商已經開始改用陶瓷所生產的機械手臂。
會用在反應器系統(tǒng)內,且電漿或是化學氣體有時會在此停留,故在鐘罩的材質使用上需特別注意耐酸堿耐腐蝕,因此目前有許多半導體設備上所使用之鐘罩采用陶瓷材質,鐘罩之外表也可以配合另外覆蓋其他金屬材質?;虮舅窘饘夔娬挚勺鎏沾杀砻嫣幚?。
壓緊環(huán)
用于光電業(yè)前段制程機臺設備中,長期會接觸化學藥劑,陶瓷材質可避免長期接觸化學藥劑產生腐蝕的現(xiàn)象。

陶瓷長板/邊條/檔板/蓋板
多用于LCD蝕刻機臺設備,機臺需長期與化學藥劑接觸,中間孔洞部分是需鎖螺絲,所以它的材質多數(shù)必須考量可耐酸堿,抗腐蝕,故目前大多數(shù)都采用陶瓷材質。因應機臺的需求會產生很多不一樣型式,故我們樣式的陶瓷陶瓷長板/邊條/檔板/蓋板。提供客戶客制化的服務,可配合生產各式陶瓷或金屬長板陶瓷表面處理。
陶瓷絕緣體/防護蓋
會用于LCD蝕刻機臺設備,機臺需長期與化學藥劑接觸,因配合機臺制程別大小不同,如尺寸較小可做成一體成形,如此寸較大則會制作分段制作截取部分分段圖片如左圖。
天板
用于LCD蝕刻機臺設備,機臺需長期與化學藥劑接觸,天板的大小會因為設備的不同而有所不同,這邊可以配合客戶需求進行各種尺寸規(guī)格的生產。
其他應用